Inficon英福康BPG402真空计用，双灯丝真空探头354-494

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计益处

• 测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
• 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
• 皮拉尼联锁保护单丝，防止过早烧毁
• 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
• RoHS 合规

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计选型：
 

零件号

BPG402-S
零件号	说明
353-570	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572	BPG402-S 真空计
353-573	BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575	BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576	BPG402-SD 型真空计
353-577	BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578	BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

附件

BPG402-S
零件号	说明
353-511	BPG400 24V电源
353-512	Baffle for BPG400
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF

备件

BPG402-S
零件号	说明
354-494	BPG402 感应器
354-495	BPG402 Spare measurement system DN40CF-R