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Inficon英福康BPG402真空计用,双灯丝真空探头354-494

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)
  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
  • 皮拉尼联锁保护单丝,防止过早烧毁
  • 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
  • RoHS 合规

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

BPG402-S Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计选型
 

零件号

BPG402-S
零件号 说明
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S 真空计
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD 型真空计
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

附件

BPG402-S
零件号 说明
353-511 BPG400 24V电源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

备件

BPG402-S
零件号 说明
354-494 BPG402 感应器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R


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